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生产型一维材料制备CVD系统

发布时间:2022-12-01  浏览次数:1008

设备简介:

  本系统主要包含多温区高温加热系统、进出气控制系统、电动开盖系统、自动进液系统、PLC自动化控制系统及物料收集系统。

  大尺寸碳化硅炉管及高达1380℃的最高工作温度,可极大提高生产效率并适配更广泛的应用领域。




  


                                                       

配置详情

设备特点

1、六温三控加热系统,温场分布更均匀;
2、高纯硅碳棒加热,最高工作温度1380℃,可满足更多CVD领域需求;
3、六路质量流量计(MFC)气体控制,同时设置有真空系统配合进出气系统使用,可以实现自动抽真空-补气循环流程,以最快的速度排空腔体内部的氧气;
4、电动开盖系统,方便炉管的维护及更换;
5、4.3英寸彩色触摸液晶屏,并支持多种工作模式的高精密注射泵,可以根据客户需要选择不同容积的针管进行试样的注射;同时可以跟随工艺曲线设置注射泵的开关,无需后期的人为操作,操作方便性大大提升;
6、PLC自动化控制系统集成了设备上所有的控制,包含加热和各种动作都能够在屏幕上进行操作,并且能够跟随工艺曲线设置不同的进气和流量的设置,可以实现不同工艺下的快速组合,并且支持数据导出及预存和调用配方功能。

产品型号

NBD-T1500-200T66D6Z

供电电源

三相380V 50HZ

控温精度

±1℃

额定功率

36KW

传感器类型

S型热电偶

极限温度

1500℃

长期工作最高温度

1380℃

加热元件

高纯硅碳棒

温区尺寸

260*240*1430mm

炉管材质

反应烧结碳化硅

注射泵供给速度

5-10ml/小时

推荐升温速率

≤3℃/min(注意:超过最大升温速率可能会导致炉管断裂)
炉管尺寸

内径φ180mm,壁厚10mm,长2150mm

炉体外形尺寸

长3700×深1000×高1420mm

上盖打开方式

电动开合 最大角度45度

基于PLC控制单元的全触屏智能人机交互系统


1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置;
2、可预约烧结,实现无人值守烧结工艺曲线烧结;
3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据,并可导出实现无纸记录;
4、具有实现远程操控,实时观测设备状态;
5、温度校正:主控温度和试样温度的差值,烧结全程进行非线性修正。


物料收集系统:

1、通过不锈钢波纹管与碳化硅炉管相连,有效保护高温工作中的碳化硅炉管;
2、高纯石英观察窗,可随时观察物料收集状态;
3、手动阀和电磁阀双重保障,确保出气控制稳定运行;
4、收集腔室内部配置多孔收集板,可提高物料收集效率;
5、收集系统通过手轮调节与炉管的距离,并可通过旋转与炉体保持一定角度,方便物料的取出。

高精密注射泵:

  采用4.3英寸彩色触摸液晶屏,方便快速设置参数,多个指示灯清晰确认其工作状态,支持多种注射器型号选择,可适应不同实验流量需求,高精度控制,并设有软硬保护机制,支持注射、抽取等四种工作模式。
  内置RS485通讯,支持Modbus协议,宽范围电源输入,适应各种场合。单通道、双通道、多通道可供选择。

六路质量流量控制器(6MFC)混气系统

重量

约660KG

服务支持

1年质保,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如石英制品和密封圈等) 


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